國內(nèi)領(lǐng)先的自動化物料搬運系統(tǒng)(AMHS)供應(yīng)商彌費科技宣布,已成功完成面向某頭部晶圓制造企業(yè)的整廠AMHS系統(tǒng)驗證與交付。此舉標志著彌費科技成為國內(nèi)首家實現(xiàn)半導(dǎo)體領(lǐng)域AMHS系統(tǒng)級整體交付的企業(yè),打破了該領(lǐng)域長期由國際巨頭主導(dǎo)的局面,是我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈核心裝備自主化進程中的一項重大里程碑。
AMHS(Automated Material Handling System)是半導(dǎo)體晶圓廠的生命線,負責(zé)在復(fù)雜的潔凈室環(huán)境中,高效、精準、無人化地傳輸晶圓載具(如FOUP)。它如同晶圓廠的“智能血管”與“高速公路網(wǎng)絡(luò)”,直接關(guān)系到工廠的生產(chǎn)效率、產(chǎn)品良率與運營成本。長期以來,高端晶圓廠的整廠AMHS系統(tǒng)設(shè)計、集成與交付能力被少數(shù)幾家國際公司所壟斷。
彌費科技此次完成的系統(tǒng)級交付,并非單一設(shè)備的供應(yīng),而是涵蓋了從前期方案設(shè)計、軟硬件集成、系統(tǒng)仿真測試到現(xiàn)場安裝調(diào)試、最終驗收的全流程。該系統(tǒng)成功通過了客戶嚴苛的工廠驗收測試(FAT)和現(xiàn)場驗收測試(SAT),各項性能指標均達到國際先進水平,實現(xiàn)了在300mm晶圓產(chǎn)線中與客戶現(xiàn)有生產(chǎn)設(shè)備(如光刻機、刻蝕機等)及生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)(MES)的無縫對接與穩(wěn)定運行。
這一突破性成就具有多重深遠意義:
隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局的深刻調(diào)整與中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)高速發(fā)展,對高性能、高可靠性的國產(chǎn)化AMHS需求將日益迫切。彌費科技此次里程碑式的交付,不僅鞏固了其在國內(nèi)AMHS領(lǐng)域的領(lǐng)軍地位,更預(yù)示著一個由本土力量深度參與、共同塑造的半導(dǎo)體高端裝備新時代正在加速到來。公司表示,將繼續(xù)深耕核心技術(shù),與產(chǎn)業(yè)鏈伙伴緊密合作,為推進中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的全面自主化與高質(zhì)量發(fā)展貢獻堅實力量。
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更新時間:2026-03-17 18:18:47
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